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1、独家1500万像素视觉系统
放大倍数恒定、无视差
2、10微米精度的远心复合透镜设计，放大倍数恒定，无视差。
3、先进的双投影，阴影波纹设计
4、2微米的高度准确性
5、精密交流伺服驱动电动机系统
6、极其简单的编程和操作
美陆MIRTEC MS-11E SPI在线检测仪技术参数：
高度分辨率：0.1μm
高度精度：2μm（校正精度）
高度重复精度：± 1%（校正精度）
体积重复精度：± 2%（校正精度）
锡膏高度：最大450μm,最小40μm
PCB弯曲：± 5mm
可检测：体积，区域，高度，XY坐标，桥连等等。
相机：1500万像素相机，3904*3904像素，
图像转换技术：120帧/秒
镭射PCB弯曲补偿：1μm/point
PCB最高间隙：25mm
PCB底部间隙：25mm
PCB最大弯曲：± 3 mm
机器人坐标系统：XY轴：精密交流伺服驱动电动机系统
分辨率：1μm
重复精度：± 10μm
PCB尺寸：50mm*50mm---510mm*460mm
电源：单相220-240V,50-60HZ,1.1KW
气压：5kgf/C㎡(0.5Pma);71PSI
机器尺寸：W1080mm *D1470mm *H1500mm
机器重量：950KG
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